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網(wǎng)孔蝕刻加工流程

文章出處:本站  責任編輯:Editor  人氣:125  發(fā)表時間:2025-5-5 9:54:29  【

 

網(wǎng)孔蝕刻加工是一種通過化學或物理方法在金屬、合金或其他材料表面精確加工出密集網(wǎng)狀小孔的工藝。以下是關(guān)于網(wǎng)孔蝕刻加工的詳細介紹

一、網(wǎng)孔蝕刻加工流程

1.材料預(yù)處理

清潔基材表面,去除油污、氧化層。

干燥后涂覆光刻膠,確保均勻覆蓋。

2.圖案化處理

曝光:使用帶有網(wǎng)孔設(shè)計的掩膜覆蓋材料,通過紫外光曝光(光刻工藝)或激光直接成像將圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠上。

顯影:溶解未固化的光刻膠,露出需要蝕刻的區(qū)域。

3.蝕刻加工

化學蝕刻:浸入蝕刻液,腐蝕暴露區(qū)域,形成網(wǎng)孔。

參數(shù)控制:調(diào)整溫度、濃度、時間以控制蝕刻深度和孔壁質(zhì)量。

電解蝕刻:適用于高精度需求,通過電流加速蝕刻過程,提高均勻性。

4.后處理

去除殘留光刻膠。

清洗、拋光或鈍化處理(如不銹鋼需酸洗鈍化防銹)。

質(zhì)檢(顯微鏡檢查孔徑、孔距、表面光潔度)。

二、網(wǎng)孔蝕刻應(yīng)用領(lǐng)域

工業(yè)過濾:石油化工用高精度濾網(wǎng)、汽車燃油濾芯。

電子器件:射頻屏蔽網(wǎng)、散熱片。

醫(yī)療設(shè)備:手術(shù)器械篩板、植入物表面微孔結(jié)構(gòu)。

裝飾工藝:建筑幕墻鏤空裝飾、工藝品紋理。

航空航天:輕量化結(jié)構(gòu)件。

三、環(huán)保與安全

廢液處理:中和酸性/堿性蝕刻液。

替代工藝:水刀切割或激光加工。

四、網(wǎng)孔蝕刻加工常見問題與對策

孔邊緣毛刺:優(yōu)化蝕刻液配方,添加緩蝕劑;或電解拋光后處理。

蝕刻不均勻:改進掩膜設(shè)計增加導流槽,調(diào)整蝕刻槽攪拌方式。

材料變形:薄板材料需使用夾具固定,避免應(yīng)力集中。

五、網(wǎng)孔蝕刻加工技術(shù)趨勢

高縱橫比蝕刻:通過脈沖蝕刻或超聲波輔助實現(xiàn)深孔加工。

智能化控制:傳感器實時監(jiān)測蝕刻速率,AI動態(tài)調(diào)整工藝參數(shù)。

綠色蝕刻劑:開發(fā)可循環(huán)利用的生物降解蝕刻液。

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