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顯影液濃度及溫度的控制

文章出處:本站  責(zé)任編輯:Editor  人氣:6138  發(fā)表時(shí)間:2012-3-18 11:55:45  【

 

顯影液濃度:
目前業(yè)界常用的顯影液是以無(wú)水碳酸鈉加純水配制而成,濃度一般為1-2%(質(zhì)量比),但為了細(xì)線(xiàn)路的制作,緩和反應(yīng)速度,降低Under-cut,現(xiàn)在顯影液的濃度多控制在1.0%±0.2%。較高蝕刻藥液濃度可允許較高干膜負(fù)荷量,但不容易清洗干凈,且操作范圍較??;反之,過(guò)低的藥液濃度所能承受的干膜負(fù)荷量較小。因此,正確的蝕刻顯影液藥液濃度應(yīng)與干膜廠商研究,依照其干膜特性來(lái)配制。而蝕刻藥液濃度的檢驗(yàn)可利用酸堿滴定來(lái)分析。重點(diǎn)是:為維持槽液濃度的穩(wěn)定性,確保顯影品質(zhì),必須設(shè)置自動(dòng)添加,一般以偵控槽液的PH值作自動(dòng)添加,或計(jì)片、計(jì)面積添加。
 
顯影液溫度:
顯影液溫度是影響顯影速度的最大變數(shù),一般都控制在30±2攝氏度,需依干膜種類(lèi)而定,由于操作時(shí)蝕刻藥液因泵浦的壓縮作用產(chǎn)生大量的熱能會(huì)促使溫度升高,致使有顯影過(guò)度的可能,因此顯影槽需加裝冷卻水管來(lái)保持適當(dāng)?shù)臏囟龋欢鴾囟冗^(guò)低時(shí),又可能造成顯影不潔,因此需加裝加熱器使溫度能達(dá)到操作范圍,而得到最佳的顯影效果。

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